电子设备以及电容式湿度传感器

摘要

本实用新型公开了一种电子设备以及电容式湿度传感器。根据一个实施方式，一种电容式湿度传感器包括第一电极、湿度敏感电介质层以及第二电极。该湿度敏感电介质层位于所述第一电极和第二电极之间。该湿度敏感电介质层在选择的区域被刻蚀以在所述第一电极和所述第二电极之间形成中空区域。

主权项

一种电子设备，其特征在于，包括： 第一电极； 在所述第一电极上方的第二电极；以及 湿度敏感电介质层，其介电常数基于环境湿度而变化，且所述湿度敏感电介质层基于所述第一电极定位，且定位在所述第一电极和所述第二电极之间；以及 通过所述第二电极延伸的至少一个孔径；以及 所述湿度敏感电介质层中的凹陷，其形成所述第一电极和所述第二电极之间、在第二电极的一部分下方延伸的中空区域，所述湿度敏感电介质层在凹陷处具有的第一厚度，以及在与所述凹陷隔开的位置具有第二厚度，所述第二厚度大于所述第一厚度。