发明名称 |
纯氢气工艺设备的安全连锁装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种纯氢气工艺设备的安全连锁装置,包括废氢燃烧装置(1)和排风异常控制系统(2),所述废氢燃烧装置的排风口(3)与一排风风机(4)的入口相连,其特征在于在所述排风口与排风风机的管路上设置有风压表(5),所述风压表与排风异常控制系统相连,在所述排风异常控制系统上分别设置有氢气气动阀门(6)和声光报警器(7),所述氢气气动阀门的出口与废氢燃烧装置的入口相连,在所述氢气气动阀门的出口与废氢燃烧装置的入口之间设置有氢气MFM装置(8)和氢气MFC装置(9)。本实用新型一种纯氢气工艺设备的安全连锁装置,提高使用纯氢气工艺设备的安全可靠性。 |
申请公布号 |
CN203240592U |
申请公布日期 |
2013.10.16 |
申请号 |
CN201320209908.4 |
申请日期 |
2013.04.24 |
申请人 |
江阴新顺微电子有限公司 |
发明人 |
陈建标;孙斌;李建立;沈晓东;冯东明;王新潮 |
分类号 |
F23G7/06(2006.01)I |
主分类号 |
F23G7/06(2006.01)I |
代理机构 |
江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 |
代理人 |
唐纫兰;曾丹 |
主权项 |
一种纯氢气工艺设备的安全连锁装置,包括废氢燃烧装置(1)和排风异常控制系统(2),所述废氢燃烧装置(1)的排风口(3)与一排风风机(4)的入口相连,其特征在于在所述排风口(3)与排风风机(4)的管路上设置有风压表(5), 所述风压表(5)与排风异常控制系统(2)相连,在所述排风异常控制系统(2)上分别设置有氢气气动阀门(6)和声光报警器(7),所述氢气气动阀门(6)的出口与废氢燃烧装置(1)的入口相连,在所述氢气气动阀门(6)的出口与废氢燃烧装置(1)的入口之间设置有氢气MFM装置(8)和氢气MFC装置(9)。 |
地址 |
214434 江苏省无锡市江阴市滨江开发区澄江东路 |