发明名称 纯氢气工艺设备的安全连锁装置
摘要 本实用新型涉及一种纯氢气工艺设备的安全连锁装置,包括废氢燃烧装置(1)和排风异常控制系统(2),所述废氢燃烧装置的排风口(3)与一排风风机(4)的入口相连,其特征在于在所述排风口与排风风机的管路上设置有风压表(5),所述风压表与排风异常控制系统相连,在所述排风异常控制系统上分别设置有氢气气动阀门(6)和声光报警器(7),所述氢气气动阀门的出口与废氢燃烧装置的入口相连,在所述氢气气动阀门的出口与废氢燃烧装置的入口之间设置有氢气MFM装置(8)和氢气MFC装置(9)。本实用新型一种纯氢气工艺设备的安全连锁装置,提高使用纯氢气工艺设备的安全可靠性。
申请公布号 CN203240592U 申请公布日期 2013.10.16
申请号 CN201320209908.4 申请日期 2013.04.24
申请人 江阴新顺微电子有限公司 发明人 陈建标;孙斌;李建立;沈晓东;冯东明;王新潮
分类号 F23G7/06(2006.01)I 主分类号 F23G7/06(2006.01)I
代理机构 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 代理人 唐纫兰;曾丹
主权项 一种纯氢气工艺设备的安全连锁装置,包括废氢燃烧装置(1)和排风异常控制系统(2),所述废氢燃烧装置(1)的排风口(3)与一排风风机(4)的入口相连,其特征在于在所述排风口(3)与排风风机(4)的管路上设置有风压表(5), 所述风压表(5)与排风异常控制系统(2)相连,在所述排风异常控制系统(2)上分别设置有氢气气动阀门(6)和声光报警器(7),所述氢气气动阀门(6)的出口与废氢燃烧装置(1)的入口相连,在所述氢气气动阀门(6)的出口与废氢燃烧装置(1)的入口之间设置有氢气MFM装置(8)和氢气MFC装置(9)。
地址 214434 江苏省无锡市江阴市滨江开发区澄江东路