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发明名称
测试直通矽晶穿孔的方法及其电路
摘要
本发明之测试直通矽晶穿孔之方法及电路利用受测试之直通矽晶穿孔之电子性质。首先将该受测试之直通矽晶穿孔重设至一第一状态,且接着在仅一末端处进行感测以判定该受测试之直通矽晶穿孔是否遵循一正常直通矽晶穿孔之行为,其中该等重设及感测步骤在该受测试之直通矽晶穿孔之仅一末端处执行。若该受测试之直通矽晶穿孔不遵循一正常直通矽晶穿孔之行为,则判定该受测试之直通矽晶穿孔为有故障的。
申请公布号
TWI411795
申请公布日期
2013.10.11
申请号
TW100115030
申请日期
2011.04.29
申请人
国立清华大学 新竹市光复路2段101号
发明人
吴诚文;陈柏源;蒯定明;周永发
分类号
G01R31/28;G01R31/26
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
冯博生 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
新竹市光复路2段101号
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