具埋入式字元线之装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种具一记忆单元之积体电路，包含一字元线、一位元线以及一隔离层。该字元线系设置于一基板之一字元线沟槽内。该位元线系设置于该字元线的下方的一位元线沟槽内，且该位元线的延伸方向正交于该字元线的延伸方向。以及，该隔离层用以隔离该字元线及该位元线，系设置于该位元线之上方的该位元线沟槽内。其中，该隔离层和该基板的蚀刻率相近。