晶圆防护装置及其操作流程

摘要

本发明是提供一种晶圆防护装置及其操作流程，该晶圆防护装置配合加热炉进行晶圆及蓝宝石层的分离工作，而该晶圆防护装置上的感测器可感测晶圆模组是否被确实更换以进行下一次的工作，当晶圆模组没有被确实更换也能控制加热炉不进行动作，防止加热炉重复进行动作而产生晶圆的损坏，达到彻底防呆的效果，并完全阻绝产品不良率的发生，减少不必要的成本损失。