| 摘要 |
一种光学检测平行度装置，特别系指一种高精确度、且检测迅速的平行度检测装置，该装置具有一光源模组、一分光模组及至少二光电感测器，其中光源模组具有一光源与一分光元件，使光源模组能产生两相互垂直之光束，其中一光束与移动方向平行、且为其中一光电感测器所接收，而另一光束则经分光模组产生两相互垂直之光束，其中一光束与前述平行移动方向之光束平行，且该光束并为另一光电感测器所接收，透过上述的设计，其能藉由垂直与平行之光束作用，而不会受到机台机构的影响造成量测的误差，并能具有低成本、高精确度、体积小、携带方便、架设简易及检测迅速之效。 |
