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发明名称
利用漫射反射之测量提高X光反射测量
摘要
本发明揭示一种用于检查具有一表面层之一样本的方法。该方法包括获得该样本之一第一反射比光谱,同时采用X光之一准直光束而照射该样本,并且处理该第一反射比光谱以测量该样本之一漫射反射特性。获得该样本之一第二反射比光谱,同时采用该等X光之一会聚光束而照射该样本。使用该漫射反射特性来分析该第二反射比光谱,以便决定该样本之该表面层的一特征。
申请公布号
TWI411775
申请公布日期
2013.10.11
申请号
TW094125805
申请日期
2005.07.29
申请人
乔丹菲利应用放射有限公司 以色列
发明人
大卫 伯曼;艾萨克 马洛;伯瑞斯 约辛;阿摩司 格维兹曼
分类号
G01N23/20
主分类号
G01N23/20
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
以色列
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