积层装置

摘要

本发明揭示一种积层装置。该积层装置是将流体导入由隔膜隔成的上处理室，并藉由隔膜的鼓出而夹压载置于加热板的被积层体而进行积层的积层装置，其特征为：设置用来储存被导入前述上处理室的流体的储存部，并且具有用来加热被储存在前述储存部1内的流体的加热机构。