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Vorrichtung, umfassend: eine Zentrifuge (42) mit einem Fenster (50), eine innerhalb der Zentrifuge (42) angeordnete Zentrifugentrommel (46) mit einem Waferhalter (48a–48i) zur Halterungeines Wafers (20a–20i) mit Lothügeln (32a–32i), und eine Wärmequelle (44) zur Übertragung von Wärme durch das Fenster (50) hindurch auf die Lothügel (32a–32i) zum Aufschmelzen der Lothügel (32a–32i) während Zentrifugalkräfte auf die Lothügel (32a–32i) und den Wafer (20a–20i) wirken, so dass verlängerte Lothügel (60a–60i) erzeugt werden können. |
