Oberflächenbeschaffenheitsmessvorrichtung, Nivelliergerät für eine Oberflächenbeschaffenheitsmessvorrichtung und ein Verfahren zur Orientierungseinstellung eines Werkstückes einer Oberflächenbeschaffenheitsmessvorrichtung

摘要

Oberflächenbeschaffenheitsmessvorrichtung zum Messen einer Oberflächenbeschaffenheit eines auf einer Werkstückorientierungsjustierhalterung gehaltenen Werkstückes, wobei das Werkstück eine Randlinie aufweist und in einer Messrichtung in X-Achsenrichtung und in einer Richtung in Y-Achsenrichtung senkrecht zur X-Achsenrichtung innerhalb einer horizontalen Ebene bewegbar und in einer X-Y-Ebene drehbar ist, wobei das Werkstück um die Y-Achse schwenkbar in einer Richtung in Z-Achsenrichtung senkrecht zur X-Achsenrichtung innerhalb einer senkrechten Ebene bewegbar ist, wobei die Oberflächenbeschaffenheit des Werkstücks von einem in der X-Achsenrichtung bewegbaren Sensor nach Justierung der Orientierung des Werkstückes abgetastet wird, wobei die Oberflächenbeschaffenheitsmessvorrichtung umfasst: einen Messkontroller zum Justieren der Orientierung des Werkstückes; und eine von dem Messkontroller gesteuerte Messeinrichtung, wobei der Messkontroller umfasst: einen Oberflächenbeschaffenheitsmesskontroller zum Messen der Oberflächenbeschaffenheit des Werkstückes; eine X-Achsenkoordinateneingabeeinrichtung zum Eingeben von X-Achsenkoordinaten an einem Messstartpunkt und an einem Messendpunkt beim Justieren der Orientierung der Werkstückorientierungsjustierhalterung; eine Y-Achsenkoordinateneingabeeinrichtung zum Eingeben von Y-Achsenkoordinaten an einem Messstartpunkt und an einem Messendpunkt beim Justieren der Orientierung der Werkstückorientierungsjustierhalterung ...