Verfahren und Vorrichtung zur Abstandsmessung mit einer diffraktiven Struktur

摘要

Es wird ein Verfahren zur Messung eines Abstands (d) zwischen einer Referenzebene (1) und einer zu der Referenzebene (1) parallelen Messebene (3) angegeben, bei dem durch Beleuchtung einer diffraktiven Struktur (2), die in der Referenzebene (1) angeordnet ist, mindestens ein Axialfokus (5) erzeugt wird, der gegen eine auf der Referenzebene (1) und der Messebene (3) senkrecht stehende Achse um einen Winkel α geneigt ist. Der Abstand (d) wird aus der Position eines Auftreffpunkts des mindestens einen Axialfokus (5) in der Messebene (3) oder aus der Position eines Auftreffpunkts des an der Messebene (3) reflektierten Axialfokus (5) in der Referenzebene (1) ermittelt. Weiterhin wird eine für das Verfahren geeignete Vorrichtung zur Messung eines Abstands (d) zwischen einer Referenzebene (1) und einer zu der Referenzebene (1) parallelen Messebene (3) angegeben.