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Ein Gerät für einen Strahl von geladenen Teilchen nach der vorliegenden Erfindung hat eine Signalverarbeitungsfunktion, welche ein Signal ermittelt, welches gewonnen wird, während ein Strahl von geladenen Teilchen bei einer nicht einer Bandbegrenzung eines elektrischen Pfads unterliegenden niedrigen Geschwindigkeit gescannt wird, sowie ein sekundäres Signal, das gewonnen wird, während ein Strahl von geladenen Teilchen bei einer hohen Geschwindigkeit, die einer Bandbegrenzung des elektrischen Signalpfads unterliegt, durchgescannt wird; und das eine Verschlechterungsfunktion (H–1(s)) aus der Mehrzahl von Sekundärsignalen berechnet und eine inverse Funktion derselben als Korrekturfilter verwendet; sowie eine Funktion, die einen Parameter des Korrekturfilters bei Bedarf oder in einem vorgegebenen Zeitpunkt auf einen optimalen Wert aktualisiert. Damit kann das Gerät für einen Strahl von geladenen Teilchen eine optimale Bildwiederherstellung selbst dann ausführen, wenn ein Detektor oder ein Verstärker, der den elektrischen Signalpfad bildet, sich mit der Zeit verschlechtern.
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