| 摘要 |
Способ получения высокопористого покрытия, включающий приготовление пленкообразующего раствора с последующим нанесением его на поверхность кремниевых или кварцевых подложек, сушкой, отжигом и охлаждением, отличающийся тем, что свежеприготовленный пленкообразующий раствор выдерживают в течение 8-13 суток при температуре 6-8°С, сушку проводят при температуре 60°С в течение 30-40 мин, с последующим нелинейным нагревом до 800-900°С в атмосфере воздуха - в первые 15-20 мин скорость нагрева максимальна и составляет 22°С/мин, в следующие 17 мин скорость нагрева поддерживают на уровне 18°С/мин, затем в течение 12 мин скорость нагрева составляет 12°С/мин, последние 40-20 мин скорость нагрева поддерживают на уровне 0,5°С/мин - и выдержкой при 800-900°С в течение 1 ч, постепенным охлаждением в условиях естественного остывания муфельной печи при следующем соотношении компонентов в пленкообразующем растворе, мас.%: |
