| 发明名称 | 制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法 | ||
| 摘要 | 制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法，包括步骤：室温下采用磁控反应溅射法在基底上沉积金属锌薄膜；以及在大气环境下对沉积有金属锌薄膜的基底进行热处理。热处理温度为400℃～600℃，升温速率为每分钟30至80摄氏度，并且热处理时间为1～2小时。根据本发明的方法所制备的氧化锌薄膜性能优异，能够更加广泛应用于太阳能电池、平板显示器、有机光发射二极管、低辐射玻璃、透明薄膜晶体管及柔性电子器件等领域。 | ||
| 申请公布号 | CN103343327A | 申请公布日期 | 2013.10.09 |
| 申请号 | CN201310271834.1 | 申请日期 | 2013.07.01 |
| 申请人 | 上海理工大学 | 发明人 | 洪瑞金;张大伟;王琦;陶春先;黄元申;盛斌 |
| 分类号 | C23C14/58(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/58(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人 | 脱颖 |
| 主权项 | 一种制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法，包括步骤：室温下采用磁控反应溅射法在基底上沉积金属锌薄膜；以及在大气环境下对沉积有金属锌薄膜的基底进行热处理，其中，热处理温度为400℃～600℃，升温速率为每分钟30至80摄氏度，并且热处理时间为1～2小时。 | ||
| 地址 | 200093 上海市杨浦区军工路516号 | ||