一种硅片表面镀镍层粘附力的测试方法

摘要

本发明公开一种硅片表面镀镍层粘附力的测试方法，具体步骤如下：（1）制备样品粘附力测试铜条；（2）烘烤：将步骤（2）所得样品粘附力测试铜条于79~81℃烘烤10~12min，氮气流量60~90L/min；（3）石英炉管烧结焊接：设置炉管温度为379~381℃，氮气流量为55~59%；先将烘烤后的所述样品粘附力测试铜条置于石英舟上，于所述炉管管口处预热10~15min，再置于所述炉管中心烧结10~15min，最后于所述炉管管口处冷却10~15min；（4）粘附力测试。与基于石英炉管焊接的传统测试方法相比，本发明方便快捷、安全系数高、测试结果准确可靠。

主权项

一种硅片表面镀镍层粘附力的测试方法，其特征在于具体步骤如下：   （1）制备样品粘附力测试铜条：先将焊锡片置于拉力测试专用铜条表面，再将切取自镀镍测试硅片的硅晶圆样品置于锡焊片中央；将粘附力测试专用引线两端分别置于所述铜条和硅晶圆样品之上，滴加助焊剂溶液直至其覆盖所述焊锡片、硅晶圆样品以及所述引线两端，即得样品粘附力测试铜条；   （2）烘烤：将步骤（2）所得样品粘附力测试铜条于79~81℃烘烤10~12 min，氮气流量60~90L/min；   （3）石英炉管烧结焊接：设置炉管温度为379~381℃，氮气流量为55~59%；先将烘烤后的所述样品粘附力测试铜条置于石英舟上，于所述炉管管口处预热10~15min，再置于所述炉管中心烧结10~15min，最后置于所述炉管管口处冷却10~15min；   （4）粘附力测试：将经过步骤（3）焊接处理的样品粘附力测试铜条置于拉力测试仪上测试粘附力大小，根据粘附力值测试数据和测试后所述样品表面情况评估所述硅片表面镀镍层粘附力。