发明名称 用于半导体装置的富陷阱层
摘要 一种集成电路芯片形成有有源层和富陷阱层。所述有源层形成有有源器件层和金属互连层。所述富陷阱层在所述有源层上方形成。在一些实施方案中,所述有源层包括在半导体晶片内,且所述富陷阱层包括在处理晶片内。
申请公布号 CN103348473A 申请公布日期 2013.10.09
申请号 CN201180061407.X 申请日期 2011.12.07
申请人 IO半导体股份有限公司 发明人 C.布林德尔;M.A.斯图伯;S.B.莫林
分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I 主分类号 H01L27/12(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 焦玉恒
主权项 一种方法,包括:为集成电路芯片形成有源层,所述有源层包括有源器件层和金属互连层;以及在所述有源层之上形成富陷阱层。
地址 美国加利福尼亚州