用于疏油涂层的直接液体汽化

摘要

本发明涉及用于通过使用PVD处理在电子装置部件的表面上沉积疏油成分的液体汽化处理。包含疏油成分的原液体材料可被放在与真空室耦接的液体供给系统中。液体供给系统可通过不活泼气体被加压以防止疏油成分与空气之间的不希望的化学反应。包含疏油成分的液体可在到达汽化单元之前汽化，并且，疏油成分可沉积于部件上。

主权项

一种用于物理气相沉积的汽化单元，包括：用于接收原液体材料的容器；与容器耦接的盖子，该盖子包含：可通过其将原液体材料注入容器中的孔径；和用于在目标材料处于蒸气形式时允许该目标材料逃逸的多个孔；和与孔径耦接的供给导管，该导管用于将液体形式的目标材料引导到容器中。