含环氧基的有机硅氧烷化合物、转印材料用固化性组合物和使用该组合物的微细图案形成方法

摘要

本发明的目的在于一种转印材料用固化性组合物，其适合用于可以以高生产量形成微细图案的工艺即紫外纳米压印法；并且有时适合用于热纳米压印法；而且可以形成氟类气体和氧气气体的蚀刻速度选择性高的微细图案。本发明的转印材料用固化性组合物，其特征在于，含有具有Si-H基的硅化合物(A)与具有固化性官能团和除该固化性官能团以外的其它碳碳双键的化合物(B)加成进行硅氢化反应所得化合物的固化性硅化合物。

主权项

1.一种转印材料用固化性组合物，含有固化性硅化合物，所述固化性硅化合物是下述通式(1)、(2)或(3)所示的含环氧基的有机硅氧烷化合物，上述式(1)～(3)中，R¹¹是氢原子或甲基，R¹²是氢原子、甲基或苯基，R¹³是氢原子或甲基，R¹⁴、R¹⁵各自独立地是甲基、乙基、正丙基或苯基，R¹⁶、R¹⁷各自独立地是甲基、乙基、苯基或下述通式(4)所示的一价烃基，R¹⁸是氢原子、甲基、乙基或苯基，n、q是1以上的整数，p是0以上的整数，m是3～6的整数；上述式(4)中，R¹¹是氢原子或甲基，R¹²是氢原子、甲基或苯基，R¹³是氢原子或甲基，＊表示直接键合。