高功率连续波氟化氘/氟化氢化学激光器

摘要

本发明公开了一种高功率连续波氟化氘/氟化氢化学激光器，该激光器包括主振荡器和位于主振荡器后的2N+1个放大级，N为非负整数，主振荡器主要由非稳腔镜和增益模块构成，放大级的第1级与主振荡器间的光路上和/或任意相邻的两个放大级之间的光路上至少设有一个光束翻转装置。本发明的化学激光器能够校正光束传输方向偏转，具有光强均匀化能力和杂光抑制能力，能够输出高质量的激光光束。

主权项

一种高功率连续波氟化氘/氟化氢化学激光器，所述激光器包括主振荡器和位于主振荡器后的2N+1个放大级，N为非负整数，所述主振荡器主要由非稳腔镜和增益模块构成，其特征在于：所述放大级的第1级与所述主振荡器间的光路上和/或任意相邻的两个放大级之间的光路上至少设有一个光束翻转装置；设于所述放大级的第1级与所述主振荡器间的光路上的光束翻转装置包括输入平面反射镜和输出平面反射镜，所述输入平面反射镜和输出平面反射镜依次布设在所述主振荡器输出光束的光路上；设于任意相邻的两个放大级之间的光束翻转装置包括转向平面反射镜、输入平面反射镜和输出平面反射镜，所述转向平面反射镜、输入平面反射镜和输出平面反射镜依次布设在前一放大级输出光束的光路上；所述输入平面反射镜的中心开设有杂光导出孔阑；所述转向平面反射镜与所述非稳腔镜光轴方向呈45°角放置；所述输入平面反射镜与所述非稳腔镜光轴方向呈α角放置，α为锐角，且过所述输入平面反射镜中心与所述转向平面反射镜中心所成的直线垂直于所述非稳腔镜光轴方向；所述输出平面反射镜与所述非稳腔镜光轴方向呈45°+α角放置。