清洗装置以及清洗方法

摘要

提供一种清洗方法，其是在积存于清洗槽内的清洗液中浸渍被清洗物而实现清洗的清洗方法。在加热工序(S2)中，将清洗液加热到减压复压脉冲开始温度。在减压复压脉冲工序(S3)中，在清洗液成为减压复压脉冲结束温度之前，继续清洗槽内的减压，以使清洗液持续沸腾。这期间，清洗液每降低规定温度，对清洗槽内进行瞬时复压，暂时中断清洗液的沸腾。在该复压时，通过到此为止的沸腾而在清洗液中产生的水蒸气的气泡瞬时凝结。通过该凝结时的压力波或压力差，对清洗液进行搅拌以及移送，实现被清洗物的清洗。

主权项

一种清洗装置，其特征在于，具备：清洗槽，其中积存清洗液并在该清洗液中浸渍被清洗物；加热机构，其对所述清洗槽内的清洗液进行加热；减压机构，其将该清洗槽内的气体向外部吸引排出而对所述清洗槽内进行减压；以及复压机构，其向减压后的所述清洗槽内的气相部导入外部气体而使所述清洗槽内的压力恢复而复压，在由所述加热机构将清洗液加热到设定温度后，继续由所述减压机构从所述清洗槽内排气，在降低所述清洗槽内的压力的过程中，在该减压引起的清洗液的沸腾中，反复进行如下操作：利用所述复压机构将所述清洗槽内瞬时地暂时复压，直到清洗液止住沸腾。