消除测量基准安装误差的超精密静压主轴动态特性在线检测方法

摘要

消除测量基准安装误差的超精密静压主轴动态特性在线检测方法，涉及静压主轴动态特性检测领域。解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态特性在线检测或现有方法测量基准面的安装精度对测量结果影响较为严重的问题。在直驱式超精密静压主轴转子的后端加工锥形安装基准面，将标准球直接安装在锥形基准面上作为测量基准，采用两个高精度位移传感器测量主轴旋转时标准球与两个高精度位移传感器之间的位移变化，通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理，实现超精密直驱式静压主轴动态特性的在线测量，由于采用两通道同时测量，同时实现主轴的轴向窜动和径向偏摆特性的检测。

主权项

一种消除测量基准安装误差的超精密静压主轴动态特性在线检测方法，所述测试方法是基于立式超精密直驱式静压主轴系统来进行的，其特征在于：所述检测方法在直驱式超精密静压主轴的输入端部件(10)的上端面加工锥形安装基准面(5)，将检测杆(4‑1)上端的标准球(4)直接安装在锥形基准面(5)上作为测量基准，采用两个高精度位移传感器(1，3)测量直驱式超精密静压主轴旋转时标准球(4)与两个高精度位移传感器(1，3)之间的位移变化，通过传感器信号放大与数据采集系统(21)将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机数据采集和处理系统(22)进行数据分析与处理，从而实现超精密直驱式主轴动态特性的在线测量。