用于传送衬底的装置和方法

摘要

一种衬底传送装置包括被构造来在处理腔室内分别在上支撑水平和下支撑水平上支撑衬底的上衬底支撑系统和下衬底支撑系统。衬底升降系统被构造来在所述上支撑水平与下支撑水平之间移动所述衬底。还公开一种用于将衬底传送至所述处理腔室、装载锁定室中且将衬底传送至所述处理腔室、装载锁定室之外的传送机器人和传送衬底的方法。

主权项

一种衬底传送装置，所述衬底传送装置包括：上衬底支撑系统，其被构造来安置于衬底处理腔室内，所述上衬底支撑系统包括被构造来在上支撑水平上支撑衬底的至少一个上衬底支撑物；下衬底支撑系统，其包括至少一个下衬底支撑物，所述下衬底支撑物被构造来在所述上支撑水平之下的下支撑水平上支撑所述衬底；和衬底升降系统，其包括衬底台，所述衬底台被构造来支撑所述衬底，其中所述衬底升降系统被构造来在所述上支撑水平与所述下支撑水平之间移动所述衬底台，其中所述上衬底支撑系统和所述衬底升降系统被构造，使得所述衬底可从所述至少一个上衬底支撑物传送至所述衬底台，且其中所述下衬底支撑系统和所述衬底升降系统被构造，使得所述衬底可从所述衬底台传送至所述至少一个下衬底支撑物。