硬质保护膜及其形成方法

摘要

一种被覆于工具表面的硬质保护膜，其组成为具有下面所规定原子比的(Cr1-a-bAlaSib)(BxCyN1-x-y)，0＜a≤0.4，0.05≤b≤0.35，0.25≤1-a-b≤0.9，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，或其组成为具有下面所规定原子比的(M1-a-bAlaSib)(BxCyN1-x-y)，0.05≤a≤0.5，0.1＜b≤0.35，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，式中M表示Ti和Cr。用于切削工具的该硬质保护膜具有比常规硬质保护膜更好的耐磨性。

主权项

一种被覆于工具表面的硬质保护膜，其特征在于，所述硬质保护膜的组成为具有下面所规定原子比的(M1‑a‑bAlaSib)(BxCyN1‑x‑y),0.05≤a≤0.5，0.1＜b≤0.35，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，式中M表示Ti和Cr，所述硬质保护膜具有岩盐的晶体结构，且所述硬质保护膜通过阴极电弧离子电镀法成膜，所述阴极电弧离子电镀法采用施加磁场的机构。