发明名称 |
异物检测装置和异物检测方法 |
摘要 |
本发明提供一种检测电极合剂的膜等、对象物的表面或该对象物之中所含的异物,提高该检查对象物的可靠性的异物检测装置和异物检测方法。通过向对象物照射太赫兹照明光(100)(波长4μm~10mm),将来自作为对象物一例的电极(10)的散射光(660)由散射光检测器(200)作为信号进行检测,从而检测电极(10)的表面或电极(10)之中所含的异物、例如金属异物(720)。在此,通过在集电体(710)的两面、涂装有包含活性物质(701)和导电助剂和粘合剂作为构成要素的电极合剂层(700)而形成电极(10),通过透射光(656)的一部分由金属异物(720)反射而产生散射光(660)。 |
申请公布号 |
CN103348235A |
申请公布日期 |
2013.10.09 |
申请号 |
CN201280007953.X |
申请日期 |
2012.02.01 |
申请人 |
株式会社日立高新技术 |
发明人 |
爱甲健二;田中成弥;青木康子;川口浩;志村启 |
分类号 |
G01N21/94(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I;G01N21/27(2006.01)I;G01N21/35(2006.01)I;H01M4/139(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/94(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
雒运朴 |
主权项 |
一种异物检测装置,其检测对象物的表面或该对象物之中的异物,其特征在于,含有:照明光发生部,其发生照射到所述对象物上的照明光;散射光检测部,其使用光接收元件将来自所述对象物的散射光作为信号加以检测,并且,所述照明光的波长为4μm~10mm。 |
地址 |
日本东京都 |