带电粒子束装置

摘要

本发明提供一种带电粒子束装置，其在连续地修正焦点的同时观察对试样照射倾斜束而取得的倾斜像或左右视差角像时，能够抑制产生的视野偏移。通过在使一次带电粒子束聚焦在试样（10）表面的物镜（7）和使一次带电粒子束倾斜的倾斜角控制用偏转器（53）之间设置的视野修正用对准器（54），以根据倾斜角控制用偏转器（53）的倾斜角、透镜条件、物镜（7）和试样（10）的距离而求出的修正量，与物镜（7）的焦点修正联动地抑制一次带电粒子束的倾斜时产生的视野偏移。

主权项

一种带电粒子束装置，具有：带电粒子源；会聚从所述带电粒子源放出的一次带电粒子束的多个透镜；在试样上扫描所述一次带电粒子束的扫描线圈；会聚所述一次带电粒子来照射所述试样的物镜；配置在所述物镜上方，使所述一次带电粒子束倾斜的偏转器，使用所述物镜的返回作用，使倾斜的所述一次带电粒子束照射所述试样，由此取得所述试样的倾斜像或者左右视差角像，所述带电粒子束装置的特征在于，在所述物镜和所述偏转器之间还具备对准器，所述对准器具有射束倾斜视野修正功能，即，使用所述偏转器的倾斜角、所述多个透镜条件、所述物镜到所述试样的距离，修正所述一次带电粒子束的倾斜时产生的所述试样的视野偏移。