一种硫系玻璃薄膜微纳波导结构的热膜气压印装置及使用方法

摘要

一种硫系玻璃薄膜微纳波导结构的热膜气压印装置及使用方法，属于制膜装置技术领域。装置包括金属内罩和金属外罩，利用薄膜和微纳波导结构模板将密闭压印空间分为两部分，同时抽真空，加热硫系玻璃薄膜至软化温度，通入气氛，调节上下空间气压差值，完成硫系玻璃薄膜压制微纳波导结构。本发明方法简便，工艺简单，可操控性强，设备成本低廉，适用于工业化生产。

主权项

硫系玻璃薄膜微纳波导结构的热膜气压印装置，其特征在于，包括金属外罩和金属内罩，金属外罩由分别独立的外罩上盖和外罩下底座组成，外罩下底座是底面开孔的桶状结构，金属内罩在金属外罩底座的空腔内，金属内罩为上端开口、下端与外罩下底座密封连接的空腔结构，外罩下底座的开孔与金属内罩的下端口一样，外罩上盖设有通气管（S1）；金属内罩的空腔内设有加热板，加热板与金属内罩密封焊接在一起，在金属内罩的侧面设有通气管（S2），通气管（S2）位于加热板之上，金属内罩的通气管（S2）从金属内罩伸出，延伸至外罩外部，金属内罩的上端口盖有独立的具有微纳级波导结构的模板（A1）。