硅基MEMS麦克风、包含该麦克风的系统和封装

摘要

一种硅基MEMS麦克风包括硅基底（100）和支撑在该硅基底上的声学传感部（11），其中，在所述基底中形成有网络结构背孔（140），并且该网络结构背孔与所述声学传感部对齐；所述网络结构背孔包括多个网梁（141），该多个网梁彼此互联并且支撑在所述网络结构背孔的侧壁（142）上；所述多个网梁和所述侧壁界定了多个网孔（143），该多个网孔都具有锥形形状并且在所述硅基底的上部在所述声学传感部的附近汇合成一个孔。网状结构背孔有助于使例如抛掷试验中所产生的空气压力脉冲流线型化，从而减小对麦克风的声学传感部的冲击，并且也可以用作保护性过滤器以防止诸如颗粒等外部物质进入麦克风。

主权项

一种硅基MEMS麦克风，包括硅基底和支撑在该硅基底上的声学传感部，其中，在所述基底中形成有网络结构背孔，并且该网络结构背孔与所述声学传感部对齐；所述网络结构背孔包括多个网梁，该多个网梁彼此互联并且支撑在所述网络结构背孔的侧壁上；所述多个网梁和所述侧壁界定了多个网孔，该多个网孔都具有锥形形状并且在所述硅基底的上部在所述声学传感部的附近汇合成一个孔。