一种多晶硅CVD反应器隔热罩

摘要

本发明涉及多晶硅化学气相沉积(CVD)反应器的节能装置领域，目前性能最好的一体式石英隔热罩，尺寸不易做大，耐压能力差，易碎，产生的热辐射仍然较大，本发明提供的技术方案为隔热罩由两个或多个石英玻璃部件拼接而成，反应器隔热罩总体由所述拼接件的一层或多层套装叠加而成，通过固定件固定在反应器内壁上，在最靠近硅棒的一层石英玻璃上涂覆有背反射膜，本发明显著地降低了热损耗，同时具有硅棒热应力低，硅棒熔芯和棒裂的概率低，温度场均匀，有利于获得大直径硅棒，生产量高，设备易于制造，操作方便，维修容易等有益效果。

主权项

一种多晶硅CVD反应器的隔热罩，由石英玻璃制成，置于反应器的钟罩形炉筒内壁与反应器内最外层多晶硅棒之间，并通过固定件固定在内壁上，或穹顶内表面或底盘内表面，其特征为隔热罩由两个或多个石英玻璃部件拼接而成，石英玻璃隔热罩总体由所述的拼接件一个或多个套装叠加而成，在最靠近硅棒的那一层石英玻璃上涂覆有背反射膜。