发明名称 |
一种深紫外发光二极管及其制备方法 |
摘要 |
一种深紫外发光二极管及其制备方法,涉及一种发光二极管。深紫外发光二极管设有衬底,在衬底上依次生长AlN缓冲层、n-AlGaN层、有源层、p-AlGaN层和p-GaN盖层,在p-GaN盖层上沉积铝纳米颗粒阵列,在n-AlGaN层上设有n型电极,在p-GaN盖层上设有p型电极。在衬底上依次生长AlN缓冲层、n-AlGaN层、有源层、p-AlGaN层和p-GaN盖层;采用ICP技术刻蚀出n型台面,并通过光刻、真空电子束蒸发沉积及快速热退火处理技术分别形成p型、n型的欧姆接触;在p-GaN盖层上沉积铝纳米颗粒阵列;在n-AlGaN层上设n型电极,在p-GaN盖层上设p型电极。 |
申请公布号 |
CN103346232A |
申请公布日期 |
2013.10.09 |
申请号 |
CN201310268722.0 |
申请日期 |
2013.06.28 |
申请人 |
厦门大学 |
发明人 |
黄凯;陈雪;康俊勇;高娜;杨旭 |
分类号 |
H01L33/44(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/44(2010.01)I |
代理机构 |
厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 |
代理人 |
马应森 |
主权项 |
一种深紫外发光二极管,其特征在于设有衬底,在衬底上依次生长AlN缓冲层、n‑AlGaN层、有源层、p‑AlGaN层和p‑GaN盖层,在p‑GaN盖层上沉积铝纳米颗粒阵列,在n‑AlGaN层上设有n型电极,在p‑GaN盖层上设有p型电极。 |
地址 |
361005 福建省厦门市思明南路422号 |