光刻装置和器件制造方法

摘要

本发明公开了一种光刻装置和器件制造方法。在所述装置中，投影系统的最后元件和传感器之间的空间填充有液体。

主权项

一种光刻装置，该装置包括：传感器，定位成用于通过来自投影系统的辐射光束照射；液体供给系统，用于填充在所述投影系统与所述传感器之间的空间；安装在台上的板，其中所述板定位在所述传感器与所述投影系统之间。