发明名称 |
半导体器件 |
摘要 |
提供一种半导体器件,其具备:基板;通道层,其设置在基板上,由第1氮化物系化合物半导体构成;阻挡层,其设置在通道层上;第1电极,其设置在阻挡层上;以及第2电极,其设置在通道层的上方,阻挡层具有:势垒层,其设置在通道层上、由比第1氮化物系化合物半导体带隙能量大的第2氮化物系化合物半导体构成;和量子能级层,其由比第2氮化物系化合物半导体带隙能量小的第3氮化物系化合物半导体构成,形成了量子能级。 |
申请公布号 |
CN103348479A |
申请公布日期 |
2013.10.09 |
申请号 |
CN201280007853.7 |
申请日期 |
2012.04.13 |
申请人 |
先进动力设备技术研究协会 |
发明人 |
内海诚;加藤祯宏;岩见正之;古川拓也 |
分类号 |
H01L29/47(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L21/338(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L29/15(2006.01)I;H01L29/778(2006.01)I;H01L29/812(2006.01)I;H01L29/872(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/47(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
一种半导体器件,其具备:基板;通道层,其设置在所述基板的上方,由第1氮化物系化合物半导体构成;阻挡层,其设置在所述通道层上;第1电极,其设置在所述阻挡层上;以及第2电极,其设置在所述通道层的上方,所述阻挡层是重复层积势垒层和量子能级层而形成的,所述势垒层设置在所述通道层上、由比所述第1氮化物系化合物半导体带隙能量大的第2氮化物系化合物半导体构成,所述量子能级层设置在所述势垒层上、由比所述第2氮化物系化合物半导体带隙能量小的第3氮化物系化合物半导体构成,形成了量子能级。 |
地址 |
日本神奈川县 |