一种永磁微机器人在线圈系统中的无缆运动驱动方法

摘要

一种永磁微机器人在线圈系统中的无缆运动驱动方法，所述永磁微机器人是基于MEMS微加工技术，通过图形化光刻法工艺制备而成的薄膜结构;线圈系统是由多线圈构成的一种改进型的赫姆霍兹组合线圈结构，从该组合线圈结构的侧面看，四个侧面和下底面各有一个矩形线圈包围;线圈系统提供空间X-Y-Z方向的独立可控磁场，以便于永磁微机器人运动的动态建模;永磁机器人通过线圈系统形成的一定范围内均一强度和梯度的磁场，作用于永磁微机器人质心，产生动力学作用，驱动永磁机器人在线圈系统中进行振动加平移的二维平面运动。本发明制备简单、加工均一、能在多类型材料的平台上按规划路线准确行进、控制策略简易且运动精确度较高。

主权项

一种永磁微机器人在线圈系统中的无缆运动驱动方法，其特征在于，所述永磁微机器人是基于MEMS微加工技术，通过图形化光刻法工艺进行制备加工而成的薄膜结构;所述线圈系统中的线圈是由多线圈构成的一种改进型的赫姆霍兹组合线圈结构，从该组合线圈结构的侧面看，四个侧面和下底面各有一个矩形线圈包围;线圈系统提供空间X‑Y‑Z方向的独立可控磁场，以便于永磁微机器人运动的动态建模;所述永磁机器人通过线圈系统形成的一定范围内均一强度和梯度的磁场，作用于永磁微机器人质心COM点，产生力学作用，驱动永磁机器人在线圈系统中进行振动加平移的二维平面运动。