| 发明名称 | Al基合金溅射靶 | ||
| 摘要 | 提供一种Al基合金溅射靶，其能够消除在溅射的初期阶段发生的问题(例如飞溅的个数的增加和所形成的薄膜的电阻的上升)，可以缩短预溅射时间。本发明涉及一种Al基合金溅射靶，其中，以JIS B0601(2001)所规定的方法测量溅射面的表面粗糙度时，算术平均粗糙度Ra为1.50μm以下，以及最大高度Rz为10μm以下，并且，将从粗糙度曲线的中心线至波峰或波谷的高度超过0.25×Rz的峰值高度分别设为P或Q，跨越基准长度100mm，依次计数P和Q时，P到紧邻其后出现的Q再到紧邻该Q后出现的P之间的间隔L的平均值为0.4mm以上。 | ||
| 申请公布号 | CN102102183B | 申请公布日期 | 2013.10.09 |
| 申请号 | CN201010597854.4 | 申请日期 | 2010.12.16 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所;株式会社钢臂功科研 | 发明人 | 高木敏晃;松本克史;岩崎祐纪;长尾护;莳野秀忠 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张宝荣 |
| 主权项 | 一种纯Al或Al合金溅射靶，其特征在于，以JIS B0601(2001)所规定的方法测量溅射面的表面粗糙度时，算术平均粗糙度Ra为1.50μm以下，以及最大高度Rz为10μm以下，并且，将从粗糙度曲线的中心线至波峰或波谷的高度超过0.25×Rz的峰值高度分别设为P或Q，跨越基准长度100mm，依次计数P和Q时，P到紧邻其后出现的Q再到紧邻该Q后出现的P之间的间隔L的平均值为0.4mm以上。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||