电子射线干涉装置和电子射线干涉法

摘要

电子射线可干涉的范围、距离有限制，只能在该可干涉距离的范围内实现电子射线干涉。因此，在本发明的电子射线干涉装置中，着眼于通过干涉显微镜法再现、观察的相位分布是用于干涉的2个波格子的相位分布的差分，根据参照波和与参照波相邻的观察区域的干涉像，对每个干涉区域宽度连续地记录干涉像，求出分别对这些干涉像进行再现而得到的相位分布的积算，来得到规定的观察区域和规定的参照波的相位分布的差分像。对各个相位分布实施该操作，按照规定的顺序将所得到的相位分布像排列起来，由此能够得到超过可干涉距离的广范围的干涉像。

主权项

一种电子射线干涉装置，其特征在于，具备：电子射线的光源；用于将从上述光源释放的电子射线照射到样本的照射光学系统；具有对上述样本的像进行成像的物镜的成像透镜系统；配置在上述电子射线的光轴上的电子射线双棱镜；记录上述样本的多个相位分布像的图像记录装置；计算上述样本的相位分布像的图像计算处理装置，其中上述样本具有：通过上述电子射线双棱镜与透过参照波区域的电子射线干涉的电子射线所透过的第一观察区域；通过上述电子射线双棱镜与透过上述第一观察区域的电子射线干涉的电子射线所透过的第二观察区域，上述图像记录装置根据透过了上述参照波区域的电子射线和透过了上述第一观察区域的电子射线，记录第一干涉像，并且根据透过了上述第一观察区域的电子射线和透过了上述第二观察区域的电子射线，记录第二干涉像，上述图像计算处理装置根据记录在上述图像记录装置中的上述第二干涉像和记录在上述图像记录装置中的上述第一干涉像，计算透过了上述参照波区域的电子射线和透过了上述第二观察区域的电子射线的相位分布像。