基于LTCC的无源LC湿度传感器

摘要

本发明公开了一种基于LTCC的无源LC湿度传感器，自上而下包括十三层，其中奇数层均为陶瓷介质层，偶数层均为金属层；第一层介质层开窗露出第二层电容金属层以便电容层感湿；第四、六、八、十和十二层金属均为电感金属层，位于第四和十二层金属层的电感的两端通过通孔与第二层电容金属层的两端相连，形成并联LC电路。本发明利用LTCC技术来实现，可以有效减少制造流程并大大降低生产成本，并且陶瓷材料的品质因数高，电路的损耗小。更重要的是LTCC陶瓷材料稳定性好，对环境变化不敏感，陶瓷烧结体结构致密，透湿性低，所以该传感器无需封装就可以应用于高湿度的环境。

主权项

一种基于LTCC的无源LC湿度传感器，其特征在于，自上而下包括十三层，其中奇数层均为陶瓷介质层，偶数层均为金属层；第一层介质层开窗露出第二层电容金属层以便电容层感湿；第四、六、八、十和十二层金属均为电感金属层，位于第四和十二层金属层的电感的两端通过通孔与第二层电容金属层的两端相连，形成并联LC电路。