从硅片切割加工砂浆中回收碳化硅的简便化工业方法

摘要

本发明涉及一种从硅片切割砂浆中回收碳化硅的简便化工业方法。步骤一，在切割砂浆中加入稀释剂，以降低体系粘度；步骤二，将降低粘度后的砂浆通过精密过滤装置A进行一级分离，根据硅材料线切割对碳化硅磨料的粒度分布要求设定控制过滤精度，得到固体组份S1；步骤三，对固体组份S1进行碱洗、酸洗和清洗，湿料经烘干可直接得到可满足硅材料线切割要求的高品质碳化硅；步骤四，对经过一级分离后的砂浆液体，再通过精密过滤装置B进行二级分离，控制过滤精度使得能够截留的最小通过颗粒在2μm以下，得到固体物质S2和分离清液；步骤五，对二级分离所得到进行碱洗、酸洗和清洗，湿料经烘干，收集得到粒度更小的碳化硅微粉用于其它工业场合。

主权项

一种从硅片切割加工砂浆中回收碳化硅的简便化工业方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤一，在切割砂浆中加入稀释剂，以降低体系粘度；步骤二，将降低粘度后的砂浆物质通过精密过滤装置A进行一级分离，根据硅材料线切割对碳化硅磨料的粒度分布要求设定控制过滤精度，得到固体组份S1；步骤三，对一级分离所得到的固体组份S1进行碱洗、酸洗和清洗，湿料经烘干可直接得到可满足硅材料线切割要求的高品质碳化硅；步骤四，对经过一级分离后的砂浆液体，再通过精密过滤装置B进行二级分离，控制过滤精度使得能够截留的最小通过颗粒在2μm以下，得到固体物质S2和分离清液；步骤五，对二级分离所得S2进行碱洗、酸洗和清洗，湿料经烘干，收集得到粒度更小的碳化硅微粉用于其它工业场合。