一种蓝宝石衬底抛光工艺

摘要

本发明公开了蓝宝石衬底抛光装置及抛光工艺，在机架上转动安装有转轴，在转轴的顶端部固定有抛光台，在抛光台的上表面固定有水晶抛光垫，在水晶抛光垫上方设有磨料供给机构；在机械臂上通过胶轮安装有固定环，在固定环内设有衬底固定盘，在衬底固定盘上方设有将衬底固定盘固定的蓝宝石衬底压向水晶抛光垫的加压机构；所述水晶抛光垫由多个厚度相同的水晶片用紫外胶粘附在抛光台的上表面上，相邻两片水晶片之间的间隙为0.5~2mm。本发明抛光后蓝宝石衬底平面度小于5um，表面粗糙度小于0.3nm，且衬底表面无复杂生成物，无需进行复杂的后清洗，既节约成本，又提高了成品率。

主权项

一种使用蓝宝石衬底抛光装置进行蓝宝石衬底抛光的工艺，其特征是：该工艺包括如下步骤：a、在抛光装置的转轴上安装抛光台，用紫外胶将水晶片粘附在抛光台的上表面上，相邻两片水晶片之间的间隙为0.5~2mm；b、将磨料供给机构固定于机架上，加入SiO2粉末，SiO2粉末的粒径控制在70～90nm；c、启动抛光台的转轴，使抛光台转速保持在30~90r/min，将磨料供给机构的控料阀门打开，使SiO2磨料以2~6ml/min的流量连续提供给水晶抛光垫，10~20min后关闭转轴及磨料供给机构，预先使其磨料均匀分布于抛光垫上；d、将要抛光的蓝宝石衬底用蜡粘贴在衬底固定盘上，使其抛光面面向抛光垫放置，把加压机构放置在衬底固定盘上，然后套上固定环，调节胶轮，使其两者紧密接触；e、二次启动抛光台的转轴，使抛光台转速保持在30~90r/min，蓝宝石衬底在摩擦力的作用下跟随抛光台自旋，将磨料供给机构的控料阀门打开，使SiO2磨料以2~6ml/min的流量连续提供给抛光垫，将衬底抛光到所需精度。