一种多功能半导体样品夹具

摘要

本发明涉及一种多功能半导体样品夹具，应用于测试和分析工艺中半导体样品的固定。所述承载主体上设置有凹槽和固定装置，所述固定装置固定所述半导体样品于所述凹槽中；所述承载主体还设置有至少三个挡板和一个底板，所述挡板均固定设置于所述底板的上表面；所述凹槽由相邻的两个所述挡板与该两挡板之间的底板共同构成；所述固定装置包括导向轨道、滑块和固定螺杆；所述导向轨道设置于所述凹槽底部的上表面，且该导向轨道的导向方向垂直于构成该凹槽的挡板；所述滑块通过所述导向轨道垂直于挡板往复运动，所述固定螺杆固定所述滑块于所述导向轨道上。

主权项

一种多功能半导体样品夹具，应用于测试工艺中半导体样品的固定，其特征在于，所述夹具包括承载主体；所述承载主体上设置有凹槽和固定装置，所述固定装置固定所述半导体样品于所述凹槽中。