发明名称 量子型红外线传感器以及使用该量子型红外线传感器的量子型红外线气体浓度仪
摘要 本发明提供一种具有小型且简单的元件形状并且在测量气体的流量变化、温度变化等环境变化的情况下能够稳定地进行测量的量子型红外线传感器及其气体浓度仪。该量子型红外线传感器具备一对量子型红外线传感器元件(13a、13b)、一对光学滤波器(16a、16b)以及保持构件(15)。一对光学滤波器(16a、16b)相对于一对量子型红外线传感器元件(13a、13b)设置于红外线光源侧,并选择性地使分别不同的特定波长频带的红外线透过,被容纳于保持构件(15)上段,通过一对贯通孔(15a、15b)与一对量子型红外线传感器元件(13a、13b)相对地设置。另外,通过使用这种结构的量子型红外线传感器,能够使用朗伯-比尔定律对气体浓度进行定量分析。
申请公布号 CN102057495B 申请公布日期 2013.10.09
申请号 CN200980120839.6 申请日期 2009.06.04
申请人 旭化成微电子株式会社 发明人 久世直洋;德尾圣一;柳田好德
分类号 H01L31/0232(2006.01)I;G01N21/61(2006.01)I 主分类号 H01L31/0232(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇
主权项 一种量子型红外线传感器,其特征在于,具备:多个量子型红外线传感器元件;多个光学滤波器,其相对于上述量子型红外线传感器元件设置于红外线光源侧,选择性地使各自不同的特定波长频带的红外线透过;以及保持构件,其至少保持上述光学滤波器,该保持构件上设置有多个贯通孔,这些多个贯通孔相对于上述量子型红外线传感器元件设置于上述红外线光源侧,其中,上述量子型红外线传感器元件和上述滤波器被嵌入到上述保持构件的上述贯通孔内,上述光学滤波器与上述量子型红外线传感器元件紧密结合。
地址 日本东京都
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