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发明名称 PELLICLE CONTAINER
摘要
申请公布号 HK1163262(A1) 申请公布日期 2013.10.04
申请号 HK20120103709 申请日期 2012.04.16
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD. 发明人 SEKIHARA, KAZUTOSHI
分类号 B65D85/86;G03F1/62;H01L21/673 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
主权项
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