发明名称 一种维持隔膜压缩机压力平衡系统
摘要 本实用新型涉及一种维持隔膜压缩机压力平衡系统,包括压缩机前缓冲罐(1)、压缩机后缓冲罐(2)、压缩机(3)、低压工艺气体导入管道(4)、高压工艺气体补充管道(5)、工艺气体导出管道(6)、工艺气体压力平衡连接管道(10),所述工艺气体压力平衡连接管道(10)上设置有阀门(9)和自动调节阀(7),所述阀门(9)和自动调节阀(7)之间设置有惰性气体导入管道(8),本实用新型利用补充惰性气体的方法,避免开启压缩机自身平衡系统,既保证了系统的输出,又防止了因补充高压工艺气体携带微量杂质,而导致压缩机的膜片损坏的情况发生,该系统既简化了生产工艺,又提高了生产效率,因此该系统具有广阔的市场前景。
申请公布号 CN203223368U 申请公布日期 2013.10.02
申请号 CN201320104316.6 申请日期 2013.03.07
申请人 江西景德半导体新材料有限公司 发明人 朱宝毅;邓新贵;李俊;陈惟勤;刘芳
分类号 F04B49/08(2006.01)I 主分类号 F04B49/08(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种维持隔膜压缩机压力平衡系统,包括压缩机前缓冲罐(1)、压缩机后缓冲罐(2)、压缩机(3)、低压工艺气体导入管道(4)、高压工艺气体补充管道(5)、工艺气体导出管道(6)、工艺气体压力平衡连接管道(10),所述压缩机前缓冲罐(1)与压缩机(3)通过管道相连,压缩机(3)与压缩机后缓冲罐(2)通过管道相连,压缩机前缓冲罐(1)与压缩机后缓冲罐(2)通过工艺气体压力平衡连接管道(10)相连,所述压缩机前缓冲罐(1)上设置有低压工艺气体导入管道(4),所述压缩机后缓冲罐(2)上设置有高压工艺气体补充管道(5)和工艺气体导出管道(6),其特征在于:所述工艺气体压力平衡连接管道(10)上设置有阀门(9)和自动调节阀(7),所述阀门(9)和自动调节阀(7)之间设置有惰性气体导入管道(8)。
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