大口径凸高次非球面的检测系统

摘要

本发明是大口径凸高次非球面的检测系统，包括相移干涉仪、辅助球面反射镜、计算全息片及计算机，计算机与相移干涉仪连接，计算全息片和凸高次非球面构成的光学系统的前焦点与相移干涉仪发出的光波焦点重合，后焦点与辅助球面反射镜的球心重合，相移干涉仪发出光波经过计算全息片后，由凸高次非球面镜反射后成为标准球面波并经过辅助球面反射镜反射后，标准球面波原路返回至相移干涉仪中，实现对所述凸高次非球面对应区域的子孔径零检测，相移干涉仪获得所述凸高次非球面上有相互重叠区域的子区域，计算机中的数据处理单元对子区域数据进行处理，得到所述凸高次非球面的全口径面形分布信息；本发明还提供一种凸球面镜或凸非球面镜的检测装置。

主权项

一种大口径凸高次非球面光学元件的检测系统，其特征在于：包括相移干涉仪、辅助球面反射镜、计算全息片及计算机，被测光学元件是大口径凸高次非球面的光学元件，计算机与相移干涉仪连接，计算全息片和被测大口径凸高次非球面构成的光学系统的前焦点与相移干涉仪发出的光波焦点重合，后焦点与辅助球面反射镜的球心重合，相移干涉仪发出的光波经过计算全息片后，由被测大口径凸高次非球面反射后成为标准球面波，标准球面波经过辅助球面反射镜反射后，标准球面波原路返回至干涉仪中，实现对被测大口径凸高次非球面对应区域的子孔径零检测，通过调整被测大口径凸高次非球面和辅助球面反射镜，使相移干涉仪获得被测大口径凸高次非球面上有相互重叠区域的子区域，最后计算机中的数据处理单元对所得到的子区域数据进行处理，得到被测大口径凸高次非球面的全口径面形分布信息。