一种磁栅尺精密测量仪

摘要

本实用新型提供一种磁栅尺精密测量仪，包括：定片刻度盘，其包括沿其长度方向排列的多个磁传感器芯片，每个所述磁传感器芯片包括至少两条彼此平行的磁感应薄膜和焊盘，所述焊盘与所述磁感应薄膜电连接，所述磁感应薄膜连接成具有独立输出通道的惠斯通电桥；移动磁极，其沿所述定片刻度盘的长度方向移动，所述移动磁极产生的磁场可使与其位置相对的所述磁传感器芯片感应并输出差分信号；信号处理单元，其用于根据所述差分信号获得所述移动磁极在所述定片刻度盘的相对位置并将其转换成所测量器件的长度尺寸；显示单元，其用于显示所测量器件的长度尺寸。该磁栅尺精密测量仪集成度高，精度高，便于制作，适于批量生成，而且，成本低，使用方便，具有广泛地市场应用前景。

主权项

一种磁栅尺精密测量仪，其特征在于，包括：定片刻度盘，其包括沿其长度方向排列的多个磁传感器芯片，每个所述磁传感器芯片包括至少两条彼此平行的磁感应薄膜和焊盘，所述焊盘与所述磁感应薄膜电连接，所述磁感应薄膜连接成具有独立输出通道的惠斯通电桥；移动磁极，其沿所述定片刻度盘的长度方向移动，所述移动磁极产生的磁场可使与其位置相对的所述磁传感器芯片感应并输出差分信号；信号处理单元，其用于根据所述差分信号获得所述移动磁极在所述定片刻度盘的相对位置，并将其转换成所测量器件的长度尺寸；显示单元，其用于显示所测量器件的长度尺寸。