发明名称 |
衬底支持装置及薄膜晶体管阵列面板的制造方法 |
摘要 |
本发明提供了一种衬底支持装置及薄膜晶体管阵列面板的制造方法,所述衬底支持装置包括:支持所述衬底的基座;形成在所述基座边缘的支持部;和与所述支持部交迭的遮蔽框架。 |
申请公布号 |
CN101144153B |
申请公布日期 |
2013.10.02 |
申请号 |
CN200710085443.5 |
申请日期 |
2007.03.05 |
申请人 |
三星显示有限公司 |
发明人 |
朴万植;李哲雨;吴泰浩 |
分类号 |
C23C16/458(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L27/00(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/458(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
张波 |
主权项 |
一种衬底支持装置,包括:支持所述衬底的基座;形成在所述基座边缘的支持部;及与所述支持部交迭的遮蔽框架,其中所述基座的边缘具有小于其他部分的厚度,使得所述基座的中心突出,所述衬底设置在所述基座的突出部,其中当所述衬底安置在所述基座上时,所述衬底不与所述遮蔽框架交迭。 |
地址 |
韩国京畿道 |