发明名称 坩埚主体及其形成方法
摘要 一种包含整体式坩埚主体的物品,该整体式坩埚主体包括氮氧化硅(SixNyO,其中x>0并且y>0),其中该氮氧化硅延伸遍及该整体式坩埚主体的整个体积。
申请公布号 CN103339300A 申请公布日期 2013.10.02
申请号 CN201180066406.4 申请日期 2011.12.28
申请人 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 发明人 E·A·科特利尼;C·J·雷利;V·K·布加瑞
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C04B35/584(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人 徐舒
主权项 一种物品,包括:包括氮氧化硅(SixNyO,其中x>0并且y>0)的一个整体式坩埚主体,其中该氮氧化硅延伸遍及该整体式坩埚主体的整个体积。
地址 美国马萨诸塞州