发明名称 用于作动显示器的方法和装置
摘要 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是,该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外,揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。
申请公布号 CN103336362A 申请公布日期 2013.10.02
申请号 CN201310236895.4 申请日期 2006.02.23
申请人 皮克斯特隆尼斯有限公司 发明人 N·W·哈古德;J·L·斯泰恩
分类号 G02B26/02(2006.01)I;G09G3/34(2006.01)I 主分类号 G02B26/02(2006.01)I
代理机构 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人 吴晓辉
主权项 一种制造显示装置的方法,包括:形成多个薄膜部件,在所述薄膜部件的顶部形成多个机械的光调制器,其中所述多个机械的光调制器包括一个非晶硅层,所述多个机械的光调制器包括多个光调制快门组件,以及所述非晶硅层被蚀刻以形成可移动的快门。
地址 美国加利福尼亚州