发明名称 |
一种防酸模具 |
摘要 |
本实用新型涉及一种半导体失效分析领域,更确切的说,涉及一种防酸模具,该防酸模具包括固定装置和多个挡板;每个挡板均与另外两个挡板相抵接触,形成一可伸缩的中心孔;固定装置的其中两个相邻边内侧还设有刻度标尺。本实用新型通过移动挡板即可改变模具中心孔的大小及位置,同时根据固定装置的刻度标尺可方便测量移动距离,以保证生产的精度,企业无需根据芯片的尺寸及位于封装样品内的位置不同定制不同规格的模具,使用本实用新型提供的防酸模具即可满足多种芯片规格的生产需求,减少了生产成本。 |
申请公布号 |
CN203225235U |
申请公布日期 |
2013.10.02 |
申请号 |
CN201320172504.2 |
申请日期 |
2013.04.08 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
唐涌耀 |
分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
竺路玲 |
主权项 |
一种防酸模具,应用于半开封工艺中,其特征在于,所述防酸模具包括固定装置和多个挡板; 每个所述挡板均通过所述固定装置与另外两个所述挡板相抵接触,形成一可伸缩的中心孔。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 |