一种独立封装的桥式磁场角度传感器

摘要

本发明公开了一种独立封装的桥式磁场角度传感器，该角度传感器由一对相互旋转90度放置的半桥MTJ传感元件组成，分别用于测量两个正交方向的磁场分量。该传感器也可以由一对MTJ全桥构成，每个MTJ全桥分别由一对MTJ传感器芯片组成。传感器芯片位于半导体封装的引线框内并通过引线连接。传感器可以封装成各种标准半导体封装形式或是封装成低成本的半导体封装形式。

主权项

一种独立封装的桥式磁场角度传感器，其特征是：该传感器包括两个半桥传感器，每个半桥传感器包括一个磁电阻传感器芯片，其中一个磁电阻传感器芯片相对另一个磁电阻传感器芯片旋转90度排列，磁电阻传感器芯片被固定在标准的半导体封装的引线框上，每个磁电阻传感器芯片包括一阻值固定的参考电阻和一响应于外磁场改变的感应电阻；每个参考电阻和感应电阻包括多个MTJ或GMR传感器元件，这些MTJ或GMR传感器元件作为单独的磁电阻元件以阵列的形式相互连接，每个参考电阻和感应电阻还包括条形永磁铁，条形永磁体应参照磁性固定层的磁化方向，在芯片制备中，条形永磁体必须磁化到垂直于磁性固定层的方向，以为磁性自由层提供稳定的偏置场；所述感应电阻的电阻值与外磁场在磁电阻传输曲线的一段范围内呈线性的关系；该磁电阻传感器芯片的引线焊盘设置为使磁电阻元件的每个引脚用于连接多条接合线；磁电阻传感器芯片相互之间以及与引线框之间都通过引线接合连接，以构成一桥式传感器；引线框和磁电阻传感器芯片密封在塑料之中，以形成一标准的半导体封装。