发明名称 |
一种GaN基LED外延结构及其生长方法 |
摘要 |
本发明涉及一种GaN基LED外延结构及其生长方法。该GaN基LED外延结构由下向上依次包括蓝宝石衬底层、GaN成核层、非故意掺杂u-GaN层、N型掺杂GaN层、第一电子储存区、GaN隔层、第二电子储存区、有源区多量子阱层、电子阻挡层、P型GaN层、接触层。本发明的GaN基LED外延结构及其生长方法,能够减小有源区材料的应力,提高GaN基LED的发光效率,提高晶体材料质量。 |
申请公布号 |
CN103337572A |
申请公布日期 |
2013.10.02 |
申请号 |
CN201310268414.8 |
申请日期 |
2013.06.28 |
申请人 |
武汉迪源光电科技有限公司 |
发明人 |
罗绍军;李鸿建;艾常涛;靳彩霞;董志江 |
分类号 |
H01L33/12(2010.01)I;H01L33/06(2010.01)I;H01L33/14(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/12(2010.01)I |
代理机构 |
北京轻创知识产权代理有限公司 11212 |
代理人 |
杨立 |
主权项 |
一种GaN基LED外延结构,其特征在于,所述GaN基LED外延结构由下向上依次包括蓝宝石衬底层、GaN成核层、非故意掺杂u‑GaN层、N型掺杂GaN层、第一电子储存区、GaN隔层、第二电子储存区、有源区多量子阱层、电子阻挡层、P型GaN层、接触层。 |
地址 |
430205 湖北省武汉市东湖高新技术开发区光谷一路227号 |