| 发明名称 | 晶圆夹持旋转装置及晶圆清洗槽 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆夹持旋转装置，其特征在于，包括：下表面用于固定晶圆的下基板，所述下基板可转动地设置；夹持夹子，所述夹持夹子包括向基板中心延伸的钩体；钩体位于下基板下方；夹持夹子受驱动朝向下基板运动和远离下基板运动。本实用新型中的晶圆夹持旋转装置，既可以固定晶圆，又可以带动晶圆旋转。清洗时可以保证全面清洗晶圆。清洗效果均匀。电镀或蚀刻时，既可以保证电镀或蚀刻晶圆的每一个部位，又可以保证电镀、蚀刻均匀。而且本实用新型使用方便。 | ||
| 申请公布号 | CN203225246U | 申请公布日期 | 2013.10.02 |
| 申请号 | CN201220749855.0 | 申请日期 | 2012.12.31 |
| 申请人 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 发明人 | 王振荣;刘红兵;陈概礼 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人 | 李强 |
| 主权项 | 晶圆夹持旋转装置，其特征在于，包括：下表面用于固定晶圆的下基板，所述下基板可旋转地设置；夹持夹子；所述夹持夹子包括向基板中心延伸的钩体；钩体位于下基板下方；钩体受驱动可朝向下基板运动和远离下基板往复运动地设置。 | ||
| 地址 | 201616 上海市松江区思贤路3600号 | ||